湖南日報7月14日訊（全媒體記者 王銘俊 通訊員 張星）“發(fā)車！”今天上午，隨著貨車的平穩(wěn)啟動，中國電子科技集團(tuán)公司第48研究所研發(fā)生產(chǎn)的第100臺國產(chǎn)離子注入機(jī)發(fā)往用戶，標(biāo)志著國內(nèi)首家離子注入機(jī)自研量產(chǎn)企業(yè)的誕生，也代表國產(chǎn)離子注入機(jī)已成功通過產(chǎn)業(yè)化考驗。

“離子注入機(jī)是芯片制造中至關(guān)重要的核心設(shè)備之一，開發(fā)難度僅次于光刻機(jī)。”48所黨委書記王平介紹，在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素，并按預(yù)定方式改變材料的電性能。離子注入機(jī)就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備，使得元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中。

作為國內(nèi)最早從事離子注入設(shè)備研制及產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，48所深耕離子束技術(shù)近60年，現(xiàn)已具備從產(chǎn)品設(shè)計到量產(chǎn)應(yīng)用的完整研制體系，量產(chǎn)的百臺設(shè)備均廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各大集成電路先進(jìn)產(chǎn)線，全面參與國產(chǎn)芯片制造的核心環(huán)節(jié)，累計流片超2000萬。

王平表示，48所將繼續(xù)扎根集成電路領(lǐng)域補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈，提升我國芯片產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性和安全水平，并不斷推動更多科研成果在湘實現(xiàn)轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化，助力國家重要先進(jìn)制造業(yè)高地和具有核心競爭力的科技創(chuàng)新高地建設(shè)。

來源：湖南日報